君原电子取得带有顶针装置的静电卡盘专利，降低整体的成本
时间：2025-09-03 16:06:05 阅读：
国家知识产权局信息显示，君原电子科技有限公司取得一项名为“一种带有顶针装置的静电卡盘”的专利，授权公告号CN223250605U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种带有顶针装置的静电卡盘，属于静电卡盘技术领域，包括静电卡盘本体，静电卡盘本体包括静电卡盘基座和静电卡盘陶瓷盘，静电卡盘基座上设有若干基座顶针孔，静电卡盘陶瓷盘上设有与基座顶针孔对应的通孔，任意一个基座顶针孔中设有顶针组件，顶针组件包括底座，底座的上方设有顶针本体，底座与顶针本体之间通过顶针弹簧连接，当静电卡盘陶瓷盘上吸附有晶圆时，顶针本体的上表面与静电卡盘陶瓷盘上表面平齐，顶针弹簧压缩，此时顶针弹簧总的弹力小于静电卡盘本体的吸附力，顶针弹簧总的弹力大于静电卡盘本体上晶圆的重力。通过一体化设置顶针组件，能够降低整体的成本，提升工作效率，降低晶圆与静电卡盘本体分离的时间。
天眼查资料显示，君原电子科技有限公司，成立于2020年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4154.927288万人民币。通过天眼查大数据分析，君原电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目118次，财产线条，此外企业还拥有行政许可4个。
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