上海芯源微申请基板搬运装置等相关专利，减少或避免手指污染基板概率提高产品良率
时间：2025-09-08 11:00:53 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置”的专利，公开号CN120545234A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置，基板搬运装置包括搬运机器人，搬运机器人包括手指模组，手指模组包括手指，手指包括固定组件和活动组件，所述固定组件和所述活动组件均具有第一夹紧件和第二夹紧件以及用于安装第一夹紧件以及第二夹紧件的承载件，活动组件的承载件位于第一位置时，固定组件的第一夹紧件和活动组件的第二夹紧件用于固定基板，活动组件的承载件位于第二位置时，固定组件的第二夹紧件和活动组件的第一夹紧件用于固定基板，该基板搬运装置能够满足使用手指的不同部位固定处理前、后的基板，减少或者避免了接触处理前基板的手指污染处理后的基板的概率，提高了产品良率。
天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可59个。
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